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洁净棚
单 向 流（1—100级）洁 净 室
1—100级的洁净室，均采用单向流的气流组织送风方式，即洁净室内的气流在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，这样可以使洁净室气象“活塞”一样，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。
要实现“活塞”的效果，高效过滤器需要满布屋顶才可以实现单向流的气流组织方向。
非 单 向 流（1000—10万级）洁 净 室
1000—10万级洁净室的气流组织方向和100级以上的洁净室不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，来实现净化。
不同的净化等级，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来表现的。
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